- [行业资讯]爱普生音叉晶体与石英光刻技术起源2018年09月01日 15:46
- 应用到石英水晶组件的光刻技术大约是上个世纪60~70年代之间,当时第一个利用这种工艺的是美国Statek晶振公司,并且取得不错的成绩.当时精工爱普生晶振公司董事长服部一郎,正在为如何生产更小,更高精度,更低成本的设备而煞费苦心,却始终理不清头绪.听闻此消息,董事长服部一郎立刻搭乘飞机前往美国,了解到光刻技术一些资料,回国后立刻召集相关技术人员和管理者,商讨研发光刻技术和如何运用到音叉晶体生产计划中去.1970年精工爱普生公司研发部门开始极其用心的钻研,光刻技术最开始是IC最重要的制造工艺,通过应用摄影曝光技术创造微观图案.
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